目前我国能生产光刻机的企业有上述5家，其中最先进的是上海微电子装备有限公司，光刻机量产的芯片工艺是90纳米。据业界传言，上海微电子也已经在对65nm制程的前道光刻设备进行研制(目长光所旗下优质资产：光华微电子、长光圆辰和长光集智。①据长春日报、长春发布和搜狐网，光华微电子产品包括被动元件生产设备、半导体前道制程设备、封装测试
又一个国产替代的芯片设备商用消息面：最近光华微电子研制成功国内首台可进入商用的12英寸全自动晶圆探针台。一、光华微电子的背景。光华微电子是中国科学院长春光学精密机而在今年5月，上海微电子装备有限公司就已经完成了第100台国产高端光刻机的交付，目前该公司制造的产品主要包含90nm、130nm以及280nm等不同分辨率节点要求的ArF、KrF以及i-line步进
￣□￣｜｜ 以创新为驱动，全力解决行业领域“卡脖子”顽疾——长春光华微电子设备工程中心有限公司一、案例简介（一）案例背景长春光华微电子设备工程中心有限公司为中科院长春光机所下属企业，专注于微光华微电子由长光所机电工程研究部转制而成，在晶片电阻生产设备、半导体生产设备、激光精细加工设备、精密机械产品等4 个领域推出十余款产品，下游客户包括国巨
此前我国主要依赖荷兰的ASML公司，国内厂商仅能生产90nm的光刻机，相比国际领先技术还有非常大差距。此次国产22nm光刻机的出现，让国内厂商在芯片代工领域内实现飞速发展。据悉，上所以做为国内唯一一家生产光刻机的上海微电子装备有限公司任重而道远。 因为光刻机的零件数量众多，要求极高，所以并非单一公司能独立完成的，每一个零件可能
作为微电子技术中微细图形加工的关键材料，光刻胶是光刻机研发的重要材料，通俗的解释是光刻机就是利用特殊光线将集成电路“映射”到硅片表面，而要想在硅片表面的避免留下“痕目前全球半导体前道用光刻机的生产厂商有4家，分别是ASML、Nikon、Canon和上海微电子(SMEE),其中尤其以ASML为佳，一家独占7成的市场。2017年全球晶圆制造用光刻机台出货不足300台，其
