OPC是连接芯片设计和制造的关键技术，应用于光刻掩模版优化及光刻机光源优化，是决定产品良率的重要环节之一。东方晶源八年磨一剑，自主研发出计算光刻产品OPC(专利号CN201511019096.7)。目前，该产品在国产化替代的道路上，光刻机的上下游均涌现出了一批优秀供应商，比如光刻机光源系统厂商福晶科技，物镜系统厂商奥普光电，光掩膜版厂商菲利华，缺陷检测厂商东方晶源，光刻
ˇ﹏ˇ 近日，突然被一则光刻机巨头ASML，高调指责中国高科技企业东方晶源侵犯知识产权的消息刷屏，当看到这则消息的第一反应就是，东方晶源是谁？在我们的印象中，中国在从事光刻机设备研此前，ASML无据指责东方晶源侵犯其技术专利，但后者坚决反击，并证明拥有自主、完备的知识产权，使ASML无法从中占便宜。这也表明，中企在电子束测量和光刻机产业链的某些环节上已经
东方晶源公司是成立于2014年位于北京的一家专注集成电路领域良品率的企业。截至目前为止，成功研发了计算光刻软件、纳米级电子束检测装备和关键尺寸量测装备三款核心产品，填补了我再加上之前华为被美国打压，谁都无法预料到美国的下一个会对谁下手。因此世界各国也都意识到，只有自己掌握了光刻机的研发技术，才能避开老美的制裁，而我国企业东方晶源也做到了，在制
导读：打脸了！东方晶源正式回应，外媒：ASML在中国遇到对手了！在国际半导体市场上，一说起荷兰ASML公司大家都还是比较熟悉的，作为全球唯一能生产EUV光刻机的厂家，ASML公司的实力这次让ASML高度紧张，声称可能涉及侵犯其知识产权，甚至还威胁可能会起诉的却不是上海微电子，而是中国另一家企业东方晶源在计算光刻方面的技术。计算光刻技术的
＞０＜ 现在中国政府部门审核对于阿斯麦公司来中国建厂企图搞垮中国东方晶源自己研发的中国知识产权光刻机。政府将严查阿斯麦公司的企图和目的。严查阿斯麦公司政治流氓行为不文明不尽管ASML目前生产的高端光刻机在全球范围内并没有任何的敌手，但由于瓦森纳协议的原因，现在的ASML公司是不可能将本国最具备竞争力的高端EUV光刻机卖到中国的，而东方晶源生产的CD-SEW
