MEMS微振镜是一款将可动结构芯片化的光学器件，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。MEMS微振镜由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻、易批量化等特点。MEMS 振镜微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜S13989-01H是电磁驱动振镜，结合了我们独特的MEMS(微机电系统)技术。通过将磁铁布置在振镜下方，可以使设备占地空间更小。通过采用气密密
MEMS振镜是一种可以二维偏转的反射镜，扫描投影振镜参数：快轴频率28KHz、光学扫描角40度；慢轴谐振频率600Hz,扫描角度30度(60Hz,受迫转动);良率大于90%,快轴转角10°,转角精度优于2urad,集成了角度MEMS振镜。MEMS振镜不应该和FLASH/FMCW/OPA并列在一起作为一种独立的技术。因为，MEMS振镜只是一个转向器件，在激光雷达里面的作用和机械转镜，振镜，旋转电机并
静电MEMS振镜通常由两部分组成：底座和振镜片。底座是用于支撑振镜片的结构，一般由硅或玻璃等材料制成。振镜片则是通过在底座上悬浮的方式实现运动。振镜片的材料通常是金属或在驱动Mems mirror时，当驱动信号使用锯齿波驱动，锯齿波内的高频谐波分量会干扰Mems振镜的运动，当该类谐振分量接近共振频率时，就会引入共振或振铃现象。小振铃现象的手段包
⊙▽⊙ FoM=θe·de·fe 其中，θe是激光雷达视场方向的有效光学扫描角，单位为rad; de是MEMS振镜有效尺寸，单位为mm; fe是MEMS振镜的有效谐振频率，单位为kHz; 2. 多种用途激光雷达的MEMS振镜参考总体而MEMS振镜是一种基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)技术制作而成的微小可驱动反射镜。镜面直径通常只有几毫米。与传统的光学扫描镜相比，具有重量轻，体积小，生
