90纳米的光刻机，就是来自上海微电子，这也是我们国内唯一一个有可以量产光刻机的芯片半导体企业。中微是5纳米刻蚀设备的先驱，并且中微是世界上数一数二的企业，他们的5纳米刻蚀机上海微电子应该是本次实现9nm光刻机技术突破的企业。该企业也是目前国内唯一一家能够实现光刻机整装的公司，在国际上也是名列前茅的光刻机企业，仅次于ASML、尼康和佳能等少数几家
˙ω˙ 上海微电子已经实现了90nm的前道光刻机突破，后续的工艺还在持续推进。ASML正面临复杂的供货规则，美国试图进一步阻碍ASML出货DUV光刻机。这种型号的设备是ASML布局中国大陆成熟芯片制程市场的关90nm光刻机对应上海微电子，这是国内唯一一家可进行整机装备的光刻机厂商，在国内成熟工艺市场掌握核心市场份额。5nm刻蚀机由中微公司领头破冰，在全球刻蚀机产业中，中微公司的实
ˇ﹏ˇ 现在，上海微电子设备终于宣布“即将交付使用ARF光源的28nm光刻机”，此前上海微电子设备的工艺一直停留在45nm，国产光刻机迎来了又一个里程碑式的进步。实际上还有消息曝出上海微电公司为开发国内首台28纳米光刻设备的上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过
ˋ﹏ˊ 上海微电子光刻机取得新突破！五朵金花都有谁？在前不久召开新闻发布会，上海方面宣布在集成电路领域已经取得重要成绩：上海企业已经实现14纳米先进工艺规模量产，90纳米光刻机、5纳米然而，最近传来的好消息是，光刻机的问题可以得到有效的解决。据悉，上海微电子有限公司在紫外光源的帮助之下，成功实现了22nm的突破，推动了国产光刻机的发展，向前迈进了一大步。一旦技
ˋ＾ˊ〉-# 上海的微电子公司经过反复钻研，已经实现了90nm光刻机突破，虽然和世界先进的EUV光刻机依然存在一定的差距，但是成功迈出的第一步决定着我们已经成功了一半，我们相信我们未来会有有人爆料上海微电子明年将交付28nm光刻机，标题大概都是“上海微电子宣布，将交付首台28nm工艺沉浸式光
