不过，让人振奋的是，就在2月1日，中国半导体企业昆山同兴达突然宣布，已经成功交付了首台上海微电子研制的SMEE光刻机，并顺利完成了搬入仪式。同兴达表示，随着这台SMEE光刻机的引上海微电子将于2022年交付首台28nm工艺国产光刻机来自上海浦东金融局的官网消息，消息时间是2020年11月23日，这是官方第一次确认上海微电子交付28nm工艺光刻机的时间节点，比
之所以上海微电子的28nmEUV光刻机迟迟没有交货，也是因为“光源国产化”还没解决。而今天哈工大的新成果出现，无疑是拨开了国产芯片的云雾，迎来曙光！其次，半导体企业昆山同兴达上海微电子28nm浸润式光刻机预计年底交付近日，相关媒体消息称，上海微电子正极力研发28纳米浸润式DUV光刻机，预计在2023年底将交付国产第一台SSA/800-10W光刻机
近日，据上海微电子装备股份有限公司披露，将在2021年到2022年之间交付首台28nm的国产沉浸式光刻机，虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至5nm光刻机还有数代的隔阂，但是差距已经大幅度缩首台国产28nm光刻机预计年底交付！上海微电子在28纳米浸没式光刻机领域取得了突破性进展。预计今年年底，他们将交付首台纯国产SSA/800-10W光刻机设备。此前，国家知识产权局公布了华为
样品交付”，该帖子同时称中国首台5纳米光刻机，“已于2023年1月通过科技部专家验证，2月发往下游工厂试用。第二台样机正在制作之中”，但奇怪的是，上海微电子并没打破垄断第一步！国产28nm光刻机年底交付使用，在半导体行业，光刻机被很多人称为“半导体工业皇冠上的明珠”，但骨头再硬，也不是不能啃下来。据新华网援引《证券日报》消息称，
