光刻机被誉为人类迄今为止最精密的仪器没有之一，内部配件多达十万之多，目前为止全球也仅有四家公司能生产出光刻机（ASML、佳能、尼康、上海微电子）就在今年我国上海微电子宣布成据报道，上海微电子将在2021年完成首台28nm国产光刻机的交付。为了加快我国光刻机技术的进步，各方群策群力。据悉，张江高科参与了上海微电子的A轮融资，投资成本为2.23亿元。业内预测，考虑在不同
ˇ▂ˇ 首台国产28nm光刻机预计年底交付！上海微电子在28纳米浸没式光刻机领域取得了突破性进展。预计今年年底，他们将交付首台纯国产SSA/800-10W光刻机设备。此前，国家知识产权局公布了华为但说实在的，ASML在生产EUV光刻机过程中，其中也是大量需要老美所提供的配件，甚至是技术。正因如此，在老美的干预下，ASML也是无法像我国提供EUV这样的高端光刻机，只能提供DUV这
∪▂∪ 北方华创在2018年实现了国产首台销售的ALD(原子层沉积设备),可实现28nm-14nm的FinFET等工艺要求；上海微电子宣布最快将在2021-2022年交付第一台国产28nm工艺的国产沉浸式光刻机；烁科中科信研发的中据青岛西海岸新区国际招商消息显示，鸿海转投资的新核芯高端半导体封测厂已进入装机阶段，目前搬入机台设备46台，包含中国制的28nm光刻机，预计10月试产、年底量产。鸿海近期业务发展到多个领域，除了
令人振奋的是，入局光刻技术研发的国内科研机构和科技企业没有让我们失望。首先，在中端光刻领域，上海微电子通过不懈的努力，将自研的光刻设备从90nm提升到了28nm的精度，首台中端2021年上海微电子计划交付首台国产的28nm的immersion光刻机，和世界上最先进的ASML公司仍然具有20年左右的差距；（跳票中）2021年，2月，全国集成电路标准化技术委员会成立；2022年
˙＾˙ 但国内市场上，其实已经有7nm光刻机。在2018年12月，SK海力士无锡工厂进口了中国首台7nm光刻机。海力士也是ASML的股东之一。第三，目前国产最先进的光刻机，应该是22nm。根据媒体报道2020年4月，华卓精科向上海微电子发货首台DWS双工件台，应用制程达到65nm；2021年6月，完成28nm制程ArFi光刻机的DWSi系列双工件台的详细设计，已在样机制造集成调试阶段。这项技术
