真搞不懂现在怎么国产光刻机都说90nm 28nm分辨率光刻机，光刻体系下并没有这两个分辨率，芯片制造里的90/28也不是实际的数值，只能大致猜测说给这两个节点用的了吧。反正相比于asml而言，国产光刻机制造商上海微电子90纳米光刻机一年的利润连asml一个零头都不到，所以每年能用于研发的资金其实很有限，说不定一年的利润都不够研发一个核心的环节。也正
目前，中国上海微电子已经能够量产90nm的光刻机，并即将交付28nm光刻机，经过技术改进，还可以制造出14nm的芯片。另外，清华大学在光刻机零部件方面同样取得了可喜的技术突破2021-12-223. 根据最新消息，上海微电子28纳米光刻机研发工作进展顺利，有望在两年内实现光刻机的LOCALIZATION,加速中国在这一制程上的自主可控。4. 在材料和设备等多个环节，中国企业近年来也
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2022年2月7号，上海微电子的2.5D/3D先进封装光刻机正式交付用户。华为开发中的麒麟堆叠芯片，用的就近日，国产光刻机厂商上海微电子在之前90nm的基础上，宣布即将量产28nmimmersion式光刻机，在2023年交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。immersion式光刻机就是浸没式光刻机，
