纠正一下，28nm的光刻机(SSX800型)到今天依然没有做出来，可能还要1-2年，上海微电子所的前道光刻机今天只能生产90纳米(SSX600型)的，当然，中国手里存量的ArF DUV等待手机验证
光刻机也是如此。上海微电子才刚研发出28纳米DUV光刻机，荷兰ASML就宣布，不顾美国反对，坚决要对中国百度贴吧-中国28纳米光刻机最新进展专题，为您展现优质的中国28纳米光刻机最新进展各类信息，在这里您可以找到关于中国28纳米光刻机最新进展的相关内容及最新的中国28纳米光刻
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原本预期2021年年底交付的上海微电子28nm光刻机，并没有如期通过验收的消息，显然这说明还或多或少存在一些障碍。但就在昨天，光刻机大佬ASML公布了其2021年主要业绩。2021全年，AS目前，中国上海微电子已经能够量产90nm的光刻机，并即将交付28nm光刻机，经过技术改进，还可以制造出14nm的芯片。另外，清华大学在光刻机零部件方面同样取得了可喜的技术突破2021-12-22
