近日，网上有传闻称，上海微电子的“28nm光刻”(传闻型号为SSA800/10W)机没有通过02专项的国家验收，无法在2021年底完成，28nm光刻机卡住了“02专项”。该消息随后admin 业界2年前(2021-11-17) 另，上海微电子的SSX600系列光刻机已出货4-5台，正在提高良率。注：SSA800/10W对标产品为ASML 2018年推出的TWINSCAN NXT:2000iNXT:2000i DUV光刻机类型：深紫外光刻机制程：7-14纳米
没做出来。实际上90纳米光刻机也基本没有企业愿意用，一共只出货了个位数，除非【万不得已】才能用。当然，中国的刻蚀机等行业很厉害，可以5纳米。但光刻机和其他近日，网上有传闻称，上海微电子的“28nm光刻”(传闻型号为SSA800/10W)机没有通过02专项的国家验收，无法在2021年底完成，28nm光刻机卡住了“02专项”。该消息随后引发了众多网友的关注和热议。其实
╯▽╰ 摘要：近日，网上有传闻称，上海微电子的“28nm光刻”(传闻型号为SSA800/10W)机没有通过02专项的国家验收，无法在2021年底完成，28nm光刻机卡住了“02专项”。该消息随后引发了众多网友近日，国产光刻机厂商上海微电子在之前90nm的基础上，宣布即将量产28nmimmersion式光刻机，在2023年交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。immersion式光刻机就是浸没式光刻机，
: 发信人：matrass (matrass), 信区：NewExpress : 标题：上海微电子的193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800 : 发信站：水木社区(Sun Apr 30 03:37:51 2023), 站内--FROM 114.2中国芯打破技术壁垒：上海微电子和中国电科28纳米芯片产业链本土化全面成功近日，引人瞩目的消息传来：上海微电子的28nmDUV光刻机SSA800已经量产，并且中国电科的2
